Homepage>ČSN EN 62047-11 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
Sponsored link
Vydáno: 01.04.2014
ČSN EN 62047-11
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 11: Zkušební metoda pro koeficienty lineární tepelné roztažnosti volně umístěných materiálů pro mikroelektromechanické systémy
Format
Availability
Price and currency
Anglicky Hardcopy
In stock
12.89 €
Označení normy:
ČSN EN 62047-11
Třídící znak:
358775
Počet stran:
32
Vydáno:
01.04.2014
Harmonizace:
Norma není harmonizována
Katalogové číslo:
95058
DESCRIPTION
ČSN EN 62047-11
Tato norma popisuje zkušební metodu na měření lineárního koeficientu teplotní roztažnosti (CLTE) volně umístěných pevných (kovových, keramických, polymerních aj.) materiálů pro mikroelektromechanické systémy (MEMS) délek mezi 0,1 mm až 1 mm a šířek mezi 10 µm až 1 mm s tloušťkami od 0,1 µm do 1 mm. Jedná se o hlavní konstrukční materiály, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tato zkušební metoda se dá použít pro měření CLTE v teplotním rozsahu od pokojové teploty do 30 % teploty tavení materiálu.
