Homepage>ČSN EN 62047-16 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
Sponsored link
Vydáno: 01.09.2015
ČSN EN 62047-16
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
Format
Availability
Price and currency
Anglicky Hardcopy
In stock
8.37 €
Označení normy:
ČSN EN 62047-16
Třídící znak:
358775
Počet stran:
20
Vydáno:
01.09.2015
Harmonizace:
Norma není harmonizována
Katalogové číslo:
98269
DESCRIPTION
ČSN EN 62047-16
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu.
