ČSN EN 62047-3

Tato mezinárodní norma specifikuje normalizovaný zkušební kus, který se používá pro zajišťování vhodnosti a přesnosti systému zkoušení v tahu pro tenkovrstvové materiály o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS) mikrostrojů a podobných součástek. Tato mezinárodní norma vychází z koncepce, aby systém zkoušek v tahu mohl zaručovat vhodnost a přesnost při měření pevnosti v tahu normalizovaných zkušebních kusů, jejichž pevnost v tahu je stanovena předem, v předpokládaném rozsahu. Norma rovněž stanoví zkušební kusy pro minimalizaci odchylek charakteristik mezi zkoušenými kusy. Přejímaná EN 62047-3 představuje 3 strany anglického textu a 15 stran anglického a francouzského textu normy IEC.