ČSN EN 62047-4

Tato norma popisuje kmenovou specifikaci pro mikroelektromechanické systémy (MEMS). Tato kmenová specifikace je základem pro specifikace uvedené v dalších částech tohoto souboru pro různé typy MEMS aplikací, jako jsou senzory, RF MEMS, vyjma optických MEMS, bio MEMS, mikro TAS a výkonových MEMS. Tato norma určuje obecné postupy pro stanovení kvality, které se používají pro IECQ-CECC systémy a určují obecné principy pro určení a testování elektrických, optických, mechanických vlastností a vlastností, které mají vliv na životní prostředí. Tato kmenová specifikace pomáhá v přípravě norem, které popisují součástky a systémy, které jsou vyrobeny pro technologii mikroopracování, zahrnují, avšak nejsou limitovány charakteristikou materiálu, manipulací, montáží a testováním, řízením výroby a měřicími metodami. MEMS, které jsou uvedeny v této normě jsou v podstatě vyrobeny z polovodičů. Avšak ustanovení, která jsou uvedena v této normě, mohou být také použita pro MEMS, které používají jiné materiály než polovodiče, například polymery, sklo, kovy a keramické materiály.