Homepage>ČSN EN 62047-9 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS
Sponsored link
Vydáno: 01.03.2012
ČSN EN 62047-9
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS
Format
Availability
Price and currency
Anglicky Hardcopy
In stock
12.94 €
Buy including changes
Označení normy:
ČSN EN 62047-9
Třídící znak:
358775
Počet stran:
36
Vydáno:
01.03.2012
Harmonizace:
Norma není harmonizována
Katalogové číslo:
90139
DESCRIPTION
ČSN EN 62047-9
Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 µm do několika milimetrů.
