Menu
0
Total price
0 €
PRICES include / exclude VAT
Homepage>ČSN EN 62047-9 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS
Vydáno: 01.03.2012
ČSN EN 62047-9 - Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS

ČSN EN 62047-9

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 9: Měření pevnosti spojení dvou destiček pro MEMS

Format
Availability
Price and currency
Anglicky Hardcopy
In stock
12.90 €
Buy including changes
Označení normy:ČSN EN 62047-9
Třídící znak:358775
Počet stran:36
Vydáno:01.03.2012
Harmonizace:Norma není harmonizována
Katalogové číslo:90139
DESCRIPTION

ČSN EN 62047-9

Tato norma popisuje metodu měření pevnosti vzájemného spojení dvou destiček, typicky se jedná o tavné spojení křemík-křemík, anodické spojení křemík-sklo, atd. a je použitelná i při výrobě a montáži MEMS zařízení. Dá se použít pro tloušťky destiček od 10 µm do několika milimetrů.