UNE EN 62047-16:2015

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films – Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (Endorsed by AENOR in August of 2015.)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 16: Métodos de ensayo para determinar la tensión residual de películas MEMS. Métodos de curvatura de la oblea y de deflexión del haz (Ratificada por AENOR en agosto de 2015.)